کنترل کننده جریان جرمی (MFC) دستگاهی است که برای اندازه گیری و کنترل جریان مایعات و گازها استفاده می شود. یک کنترل کننده جریان برای کنترل یک نوع خاص از مایع یا گاز در محدوده خاصی از نرخ جریان طراحی و کالیبره شده است. MFC را می توان از 0 تا 100 % محدوده جریان ورودی تنظیم کرد ، اما معمولاً در 10 تا 90% اسکیل کامل عمل می کند که بهترین دقت به دست آید. MFC ها می توانند آنالوگ یا دیجیتال باشند. فلومترهای دیجیتال معمولاً قادر به کنترل بیش از یک نوع سیال است در حالی که کنترل کننده آنالوگ محدود به سیالی است که برای آن کالیبره شده است.
دبی سنج های جرمی نیاز دارند که گاز یا مایع ورودی در محدوده فشار خاصی باشد. فشار کم و زیاد سیال باعث می شود که دبی سنج نتواند به نقطه تعیین شده خود برسد و MFC توانایی کنترل دبی را از دست می دهد.
دبی سنج جرمی MKS
1179C یک کنترل کننده جریان جرم رایج است که برای اندازه گیری و کنترل جریان گازها در طیف گسترده ای از صنایع کاربرد دارد. کنترلرهای 1179 Mass-Flo® با محدوده Full Scale از 10 sccm تا 20 slm در دسترس هستند و کنترل جریان سریع و قابل تکرار تا 0.2 sccm ارائه می دهند. همچنین در صورت اتصال به یک ترنسدیوسر فشار(pressure transducer) مناسب ، می توان از آن به عنوان کنترل کننده فشار نیز استفاده کرد.
دبی سنج جرمی (فلومتر) موجود در وی سی ال شاپ
| فلومتر جرمی (MFC) | KDS 1179C (10- 20,000 sccm) | KDS 1640 (2 - 20 sccm) | KDS GE50A ( 5sccm to 50 slm) |
|---|---|---|---|
| محدوده کنترل | 2% تا 100% کل اسکیل | 5% تا 100% کل اسکیل | 2% تا 100% کل اسکیل |
| بیشترین فشار ورودی | 150 psig | 5 psig | 150 psig |
| فشار کاری نرمال | 10to 40 psid (10 to 5000 sccm) 15to 40 psid (10000 to 30000 sccm) (در صورتی که فشار خروجی اتمسفریک باشد) | - | 10to 5000 sccm; 10 to 40 psid, 1000to 20000 sccm; 15 to 40 psid, 30000to 50000 sccm; 25 to 40 psid |
| دمای کاری | 0°to 50°C | 0°to 50°C | 20°to 80°C- |
| دقت | ±1.0% کل رنج | بسته به دبی سیال | ±1% برای 20 تا 100% کل محدوده, ±0.2% برای 2 تا 20% کل محدوده |