با توجه به ترکیبات شیمیایی ، تارگت سرامیکی را می توان به انواع : اکسید سرامیکی ، Silicide سرامیک ، نیترید سرامیکی ، فلوراید سرامیکی و سولفید سرامیکی تقسیم بندی کرد.
تارگت های سرامیکی vclshop شامل ( AZO ، ITO ، GZO SiO2 ، SiAl ، TiOx ، ZnS ، CdS ، WC ، Al2O3 ) با خلوص 4N می باشد که به طور گسترده در مدارهای مجتمع نیمه هادی میکروالکترونیکی و قطعات تراشه به ویژه سی دی ، دیسک و LCD استفاده می شود.
عموما تکنولوژی تولید تارگتهای سرامیکی پرس گرم (HP) است. شرکت تامین کننده ما از انتخاب مواد اولیه گرفته تا کنترل دما ، فشار و زمان پرس گرم را به شدت کنترل می کند ، بنابراین تارگت نهایی سرامیکی تولید شده دارای ویژگی های خلوص بالا ، چگالی بالا ، رنگ یکنواخت و سطح بدون ترک است. مصرف کننده نهایی می تواند فیلم های نازک خالص و همگن را در طول فرآیند PVD بدست آورد.
خلوص پاشش می تواند 99 تا 99.99 درصد متغییر باشد. شکل تارگت سرامیکی می تواند گرد ، مستطیل و روتاری تیوب باشد. قطر اهداف معمولاً 1 اینچ تا 4 اینچ است که با صفحات پشتی مس از طریق ایندیوم یا الاستر چسبانده شده است.
ما می توانیم تارگت سرامیکی مختلف در شکل های مختلف را با خلوص و چگالی بالا و همچنین دارای microstructure دانه ریز را ، برای مشتریان خود تامین کنیم.
| ترکیب تارگت سرامیکی | Bi2O3 | Cr2O3 | Er2O3 | HfO2 | ITO | MgO | Nb2O5 | Nd2O3 | NiO | Sc2O3 | SiO | SiO2 | Sm2O3 | Ta2O5 | TiO2 | Ti3O5 | V2O5 | Y2O3 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| دسته بندی | Oxide | |||||||||||||||||
| ترکیب تارگت سرامیکی | ZnO | AZO | ZrO2 | BaF2 | CaF2 | CeF3 | KF | LaF3 | MgF2 | NaF | BaTiO3 | SrTiO3 | ZnS | Si3N4 | TiN | AlN | BN | SiC |
| دسته بندی | Oxide | Fluorid | سایر |
اشکال مختلف تارگت سرامیک
