سنسورهای خلاء به منظور اندازه گیری میزان خلاء در محیط های بسته طراحی می شوند. این تجهیزات با توجه به بازه اندازه گیری دسته بندی می شوند.
خانواده سنسور Wide Range یا مولتی رنج یا فول رنج قابلیت اندازه گیری فشار تک پورت را از 1 اتمسفر تا محدوده ی 9-^10 mbar با خروجی خطی دارند. این گیج یک مجموعه کامپکت است که فضا و سخت افزار مورد نیاز را نصف می کند.
این سنسورها از دو قسمت تشکیل می شوند که به وسیله ی میکرو سوییچینگ ، رنج پیوسته ای از فشار را مشخص می نمایند. قسمت اول سنسور واید رنج، یک سنسور پیرانی و قسمت دوم متشکل از یک سنسور کاتد سرد می باشد.
نحوه عملکرد و کالیبراسیون سنسور وایدرنج
سنسور فایفر موجود در vclshop ، کالیبراسیون پیچی می باشد و باید به صورت دستی کالیبره شود. اما در سنسور WRG ادواردز برای سهولت کارکردن و اندازه گیری دقیق فشار ، تنظیم میزان خلاء گیج پیرانی به طور خودکار می باشد ،به این صورت که با یک دکمه بعد از قرار دادن سنسور در فشار اتمسفریک با فشردن دکمه ، فشار بالای سنسور WRG تنظیم می شود. برای تنظیم فشار پایین سنسور نیز از همین روش استفاده می شود با این تفاوت که سنسور را به محیط خلاء بالا وصل می کنیم.
سنسورهای واید رنج دارای یک ست پوینت ، قابل تنظیم می باشند که جهت باز یا بسته کردن یک رله در تمام محدوده های عملیاتی سیستم ، با توجه به نیاز ما تنظیم می کند .
حسگر کاتد سرد از یک تکنولوژی پیشرفته برای اندازه گیری بسیاردقیق در خلاء بالا (high vacuum) استفاده می کند.این حسگر از یک آند و یک کاتد میله ای ، یک منبع تغذیه ولتاژ بالا، مجموعه ای از مگنت های حلقه ای (مگنترون) و مدارات الکتریکی می باشد.برای بهینه سازی طول عمر سنسور کاتد سرد، ولتاژ مگنترون پس از ایجاد قوس کاهش می یابد و مگنترون با جریان تخلیه کم کار می کند.
سنسور واید رنج موجود در وی سی ال شاپ
| سنسور | فایفر PKR 251 | ادواردز WRG |
|---|---|---|
| دهانه ورودی | KF25 | KF25 |
| حداکثر فشار قابل اندازه گیری (mbar) | 1000 | 1000 |
| حداقل فشار قابل اندازه گیری (mbar) | 9-^10*5 | 9-^10*1 |
| دقت | 30% | 15% |
| دمای کاری (C°) | 5-55 | 5-60 |
| حداکثر فشار کاری (mbar) | 10000 | 6000 |
