سنسور وکیوم فلزی ZJ-52T || ZJ-54 و لامپ خلاء ZJ-10B || ZJ-27
سنسور فلزی و لامپ خلاء چینی ، نوعی سنسور خلا برای اندازه گیری میزان خلا محیط هستند.این تجهیزات سیگنال اندازه گیری شده را پس از تقویت قابل نمایش می کنند.
از رایج ترین این سنسورهای وکیوم می توان به سنسور وکیوم لامپی ZJ-10B و ZJ-27 و همچنین سنسور فلزی ZJ-52T و ZJ-54 اشاره کرد.
این نوع سنسور یک ساختار ترانزیستوری معمولی است که بسیار پایدار ، قابل اعتماد و همچنین به طور گسترده ای در دستگاه پوشش دهی تحت خلا (PVD) استفاده می شود.
این نوع فشار سنج دارای یک ساختار لوله ای معمولی است که با استفاده از یک کاتد اکسید فلز نجیب ، با آنتی اکسیدان کار می کند و از مهم ترین ویژگی های این سنسور تأثیر گرفتن آنی از فشار محیط ، عملکرد پایدار،قابلیت استفاده طولانی مدت و مناسب برای اندازه گیری خلا متوسط می باشد.
طبقه بندی
●گیج ترموکوپلی
مانند ZJ-54 که عمدتا برای اندازه گیری Low vacuum استفاده می شود.
● گیج هات کاتد
سری ZJ-10 و ZJ-27 کاتد داغ هستند که عمدتا برای اندازه گیری high vacuum استفاده می شوند.
ویژگی
سنسور وکیوم ZJ-54 دارای ویژگی های ساختار ساده ، محدوده اندازه گیری وسیع ، پاسخ سریع ، مقاومت در برابر اکسیداسیون ، عمر طولانی ، عملکرد پایدار است.
لامپ های اندازه گیری هات کاتد ZJ-10 و ZJ-27 دارای ساختارهای triode box هستند. با علت کاتدهای اکسید فلز نجیب ، این لامپ خلا دارای ویژگی های مقاومت در برابر اکسیداسیون ، مقاومت در برابر تغییرات لحظه ای ، عملکرد پایدار و عمر طولانی هستند.
لامپ خلا بسیار اقتصادی و مقرون به صرفه می باشد اما مهم ترین ایراد آن این است که در برابر فشار زیاد بشدت آسیب پذیر می باشد.
مشخصات سنسور فلزی و لامپ خلا موجود
| سنسور خلاء | ZJ-10B | ZJ-27 | ZJ-52T | ZJ-54 |
|---|---|---|---|---|
| برند | ZHVAC | ZHVAC | ZHVAC | ZHVAC |
| قطر | 15.5mm | 15.5mm | 15.5mm | 15.5mm |
| حداقل فشار قابل اندازه گیری (پاسکال) | 4-^10*3 | 5-^10*1 | 2-^10*1 | 0.25 |
| حداکثر فشار قابل اندازه گیری (پاسکال) | 65 | 4 | 1000 | 250 |