پمپهای دیفیوژن از یک جت بخار با سرعت بالا برای هدایت مولکولهای گاز، به پایین پمپ استفاده می کنند. این پمپ،از اولین نوع پمپ های high vacuum بودند که در حالت جریان مولکولی آزاد عمل می کردند ، جایی که حرکت مولکول های گاز را می توان با انتشار بهتر از دینامیک سیالات معمولی درک کرد.اساس کار پمپ دیفیوژن این است که گاز نمی تواند در برابر جریان بخار پخش شود ، اما با آن به خروجی منتقل می شود.
این تجهیز به طور گسترده ای در کاربردهای صنعتی و تحقیقاتی مورد استفاده قرار می گیرد. در بیشتر پمپ های جدید از روغن سیلیکون یا پلی فنیل اترها به عنوان مایع کار استفاده می شود.
ویژگی هایی که این محصول را برای استفاده در خلاء بسیار بالا جذاب می کند ، سرعت پمپاژ بالای آن برای همه گازها و هزینه کم در واحد سرعت پمپاژ در مقایسه با انواع دیگر پمپ های مورد استفاده در محدوده خلاء یکسان است. پمپ های دیفیوژن نمی توانند مستقیماً به اتمسفر تخلیه شوند ، بنابراین معمولاً از یک پمپ مکانیکی برای حفظ فشار خروجی در حدود 0.1 mbar استفاده می شود.
جزئیات بیشتر برای پمپ دیفیوژن
برخلاف پمپ های توربومولکولار و کرایوپمپ ها ، پمپ های دیفیوژن قطعات متحرک ندارند و در نتیجه دوام و اطمینان بالایی دارند. آنها می توانند در محدوده فشار 10-^10 تا 2-^10 میلی بار عمل کنند.
یکی از معایب عمده ، برگشت روغن به داخل محفظه خلاء است. این روغن می تواند سطوح داخل محفظه را آلوده کند یا در تماس با فیلامان داغ یا در اثر تخلیه الکتریکی ممکن است رسوبات کربنی یا سیلیس ایجاد کند. به دلیل جریان برگشتی روغن ، پمپ های دیفیوژن برای استفاده با تجهیزات آنالیز بسیار دقیق یا سایر کاربردهایی که به محیط خلاء بسیار تمیز نیاز دارند مناسب نیستند ، اما پمپ های دیفیوژن جیوه ، ممکن است در مورد خلاء بسیار بالا برای PVD استفاده شود. غالباً از تله های سرد برای به حداقل رساندن جریان برگشتی روغن استفاده می شود ، اگرچه این امر باعث کاهش سرعت پمپاژ نیز می شود.
روغن این نوع پمپ نمی تواند هنگام گرم شدن در معرض جو قرار گیرد. در این صورت روغن اکسید شده و باید تعویض شود. در صورت بروز آتش سوزی ، دود و بقایای آن ممکن است قسمت های دیگر سیستم را آلوده کند.
پمپ های دیفیوژن موجود در وی سی ال شاپ
| پمپ دیفیوژن | Agilent Varian AX-65 | Agilent Varian VHS-6 Water Cooled | Varian VHS-4 NRC 0183 |
|---|---|---|---|
| دهانه ورودی | KF50 | 6 Inch ASA | 4” ASA |
| دهانه خروجی | KF16 | 1 1/2 inch ASA | KF40 |
| سرعت پمپاژ L/S | 65ait 90helium | 1500air 1930helium | 750air 940helium |
| محدوده عملیاتی (میلی بار) | 3.9x10⁻³ to < 6.5x10⁻⁸ | 2.10x10⁻³ < 6.5 x 10⁻⁹ | 2.7x10⁻³ to < 5 x 10⁻⁹ |
| توان پمپ(watts) | 200/250 | 2200 | 1450 |
محصولات مرتبط
