پمپ توربو مولکولار بر این اصل کار می کنند که مولکول های گاز را می توان با برخورد مکرر با یک سطح جامد متحرک در جهت دلخواه حرکت داد. در این پمپ ، یک روتور سریع در حال چرخش ، مولکولهای گاز را از ورودی پمپ به سمت خروجی به منظور ایجاد یا حفظ خلاء هدایت می کند.
نحوه عملکرد پمپ توربو مولکولار
اکثر پمپ های توربومولکولار چند مرحله ای می باشند به طوری که هر مرحله شامل یک تیغه روتور چرخان و یک جفت تیغه استاتور ثابت است. این سیستم مانند یک کمپرسور عمل می کند که به گاز انرژی وارد می کند.
با ورود مولکول های گاز از ورودی ، روتور که دارای تعدادی تیغه زاویه دار است ، به مولکول ها برخورد می کند. بنابراین انرژی مکانیکی پره ها به مولکول های گاز منتقل می شود. با این حرکت جدید ، مولکول های گاز وارد سوراخ های انتقال گاز در استاتور می شوند. این امر آنها را به مرحله بعدی می رساند که در آن دوباره با سطح روتور برخورد می کنند و این روند ادامه می یابد که در نهایت آنها را از طریق اگزوز به خارج هدایت می کند.
این پمپ ها همواره به همراه یک بکینگ پمپ که عموما روتاری می باشد، استفاده می شود که ابتدا پمپ روتاری فشار محفظه را تا 1-^10 میلی بار پایین می آورد و سپس پمپ توربو وارد مدار می شود.
پمپ توربو مولکولار باید با سرعت بسیار بالا کار کنند و افزایش حرارت ناشی از اصطکاکی محدودیت های در طراحی را ایجاد می کند. هنگامی که یک توربو پمپ متوقف می شود ، روغن خلاء پمپ بکینگ ممکن است مکیده و وارد پمپ توربو شود و محفظه را آلوده می کند. برای جلوگیری از این اتفاق از آنتی ساکشن ولو استفاده می شود.همچنین فرآیند خاموش شدن این این پمپ به آرامی صورت می گیرد و پره برای مدت حدودا 70 ثانیه آزادانه می چرخند تا کاملا متوقف شوند و طی این فرآیند پمپ روتاری فشار خلاء را حفظ می کند تا به تیغه ها آسیبی وارد نشود.
پمپ های توربو مولکولار موجود
| پمپ توربو مولکولار | TURBOVAC SL 80 C | HiPace-300 | TURBOVAC 850 i/iX | TURBOVAC 1450 i | STP-XA2703C |
|---|---|---|---|---|---|
| اتصاله دهانه ورودی | DN 63 ISO-K | DN 100 ISO | DN 160 CF | DN 250 ISO-F | F250 |
| فشار نهایی(mbar) | 5.0 x 10-8 | 1.0 x 10-7 | 3.5 x 10-8 | 6.0 x 10-10 | 1.0 x 10-9 |
| سرعت پمپاژ (L/S) | 70 (نیتروژن) | 260 (نیتروژن) | 720 (نیتروژن) | 1380 (نیتروژن) | 2650 (نیتروژن) |
| شرکت سازنده | leybold | Pfeiffer | leybold | leybold | edwards |